六甲基二硅烷（HMD）

分類電子化學品

CAS No: 1450-14-2 ；化學式： C6H18Si2

規格與包裝：25KG/桶

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描述

六甲基二硅烷

Hexamethyldisilane

純度：99%

外觀：液體

應用：低k介電常數SiOCH 薄膜沉積