N,N-二甲基三甲基矽胺（DMTMSA）

N,N-二甲基三甲基矽胺（DMTMSA）

分類電子化學品

CAS No: 2083-91-2 ；化學式： C5H15NSi

規格與包裝：25KG/桶

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描述

N,N-二甲基三甲基矽胺

N,N-Dimethyltrimethylsilylamine

純度：99%

外觀：液體

應用：光刻 / 薄膜工藝中溫和鹼性矽烷化試劑，鈍化 ITO / 氧化矽表面