N,N-二乙基三甲基矽胺（ DETMSA）

N,N-二乙基三甲基矽胺（ DETMSA）

分類

CAS No:  996-50-9    ；化學式：C7H19NSi

規格與包裝：25KG/桶

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N,N-二乙基三甲基矽胺

N,N-Diethyltrimethylsilylamine

純度：98%

應用：晶圓 / 介質層表面矽烷化處理，作為 HMDS 替代方案

 

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