叔丁基二甲基矽烷（TBDMS）

叔丁基二甲基矽烷（TBDMS）

分類電子化學品

CAS No: 29681-57-0；化學式：C6H16Si

規格與包裝：25KG/桶

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描述

叔丁基二甲基矽烷

Tert-butyldimethylsilane

純度：97%

應用：低 k / 多孔 SiOC 薄膜前驅體，ALD/CVD 沉積用於超低 k（k<2.5）層間介質