苯矽烷（PS）

分類電子化學品

CAS No: 694-53-1 ；化學式：C6H8Si

規格與包裝：25KG/桶

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描述

苯矽烷

Phenylsilane

應用：SiOC/SiCN 薄膜前驅體，沉積用於高溫穩定的鈍化層、金屬間絕緣層